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新成果!金屬所柔性單通道多功能熱電半導(dǎo)體傳感器件研究有重要進展


編輯:2025-12-08 14:25:26

 

近年來,微型化、柔性化、智能化等多功能集成電子器件在人工智能、生物醫(yī)療、集成電路等領(lǐng)域取得了顯著的發(fā)展。其中,能夠同時感知觸覺和溫度的柔性應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器,因其在電子皮膚、柔性傳感器等發(fā)展中的關(guān)鍵作用而受到廣泛關(guān)注。傳統(tǒng)的應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器的設(shè)計策略主要是將兩種具有應(yīng)力/應(yīng)變和溫度傳感功能的材料集成構(gòu)建成疊層結(jié)構(gòu)的傳感器件。然而,此類器件通常以“一對一”模式運行,結(jié)構(gòu)設(shè)計和數(shù)據(jù)采集復(fù)雜,且需要外部電源驅(qū)動,其長期穩(wěn)定監(jiān)測的可靠性不佳。此外,大多數(shù)關(guān)于應(yīng)變傳感的研究往往忽視了應(yīng)變率傳感(施加應(yīng)變的速率)的重要作用,這是動態(tài)場景中的關(guān)鍵因素。即使在相同的應(yīng)變大小下,由于應(yīng)變和應(yīng)變率相互耦合,應(yīng)變率的變化也會顯著影響材料的應(yīng)變響應(yīng)特性。傳統(tǒng)傳感器無法通過單一材料和簡單結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)對多參數(shù)變量的實時監(jiān)測,既實現(xiàn)材料的多功能化傳感具有很大挑戰(zhàn)。

近期,中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心邰凱平研究員帶領(lǐng)團隊研制出一種基于碲納米線(Te-NWs)熱電-壓電耦合效應(yīng)的柔性、單通道、應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器。研究人員通過材料調(diào)控和結(jié)構(gòu)設(shè)計克服了以往傳統(tǒng)熱電材料中熱電和壓電信號無法在同一方向獲得的難題,在傾斜生長的特殊網(wǎng)狀Te-NWs結(jié)構(gòu)中,實現(xiàn)了壓電信號和熱電信號在面外方向的同時感知和輸出。傳感器具有優(yōu)異的性能,應(yīng)變傳感靈敏度為0.454 V、應(yīng)變率傳感靈敏度為0.0154 V s、溫度傳感靈敏度達225.1 μV K-1,優(yōu)于已報道的同類多模態(tài)傳感器。同時,結(jié)合第一性原理計算,證明了Te原子電荷的變化引起的壓電效應(yīng),以及外部電場(如熱電勢等)對于壓電信號的調(diào)制作用機制。該工作為基于多物理場耦合效應(yīng)構(gòu)建柔性、單通道、多模態(tài)傳感器提供了新思路,也為耦合“納米發(fā)電機”開辟了新的應(yīng)用方向。

相關(guān)研究結(jié)果于2025年11月28日發(fā)表在《Nature Communications》期刊上。據(jù)了解,該研究成果得到了國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金、遼寧省重點研發(fā)計劃和沈陽材料科學(xué)國家研究中心專項基金的資助。

 

來源:遼寧日報

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